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1um重復精度,130mm掃描深度,配合500kHz的掃描頻率
靈活大行程掃描,兼容各種復雜的大型樣品測量要求
激光光學頻率梳原理&高速激光脈沖TOF測試方式
大型零部件 龍門式 大行程運動控制平臺
超大型龍門式 移動掃描
同軸落射的掃描方式,無懼復雜結構的遮擋,滿足大視野掃描需求
微米級精度下,無需拼接,最大130mm深度掃描
三豐標準塊下,滿足10um臺階測量
產品參數
非標參數請與工程師聯系:18565137375
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