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高通量晶圓測厚系統

優于1nm重復精度下，更高速的晶圓掃描成像，SEMI標準下，滿足各種TTV BOW WARP TIP等測量。

高通量晶圓測厚系統

可視化的數據采集程序，便于用戶進行直觀一致的測量、分析和數據輸出

高通量晶圓測厚系統

符合SEMI標準的各種面型測量TTV.BOW.WARP等

高通量晶圓測厚系統

提供基于給定模型的高階殘差的對比分析

高通量晶圓測厚系統

適用于重摻型，粗糙型，多層結構型，雙折射，低反射型等晶圓

高通量晶圓測厚系統

可定制大于1m工作距離外，滿足納米級減薄監控

高通量晶圓測厚系統

可根據客戶需求，做EFEM一體化定制

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可根據客戶需求，做EFEM一體化定制

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